[SEMI] SEMI와 SECS란? SECS 기본 개념

이번 포스팅에선 필자가 다녔던 MES 솔루션 회사에서 사용한 SEMI와 SECS에 대해 설명하겠다.

 

SEMI란?

SEMI란 국제반도체장비재료협회(Semiconductor Equipment and Materials International)에서 제정한 국제 표준 규악으로 현재에는 약 1,000여 개 이상의 표준이 있으며 전 세계 반도체 제조공정에 사용되는 유일한 표준이다. 

 

반도체를 생산하기 위해선 우리가 흔히 알고 있는 8대 공정을 거쳐야 하고 각 공정별로 정밀한 기계에 의해 공정이 진행된다. 반도체 생산 공정을 수행하는 생산 설비 외에도 생산 자동화를 위한 Stocker, OHT, AGV 등 다양한 물류 설비도 존재한다. 

네델란드 ASML사의 EUV 노광장비

효율적인 반도체 생산 자동화를 위해선 생산 설비 및 물류 설비들과의 네트워크 구축을 통한 원활한 데이터 송수신이 필요하다. 하지만 전 세계의 다양한 반도체 설비 제조업체들이 각각의 설비들을 각자만의 표준으로 제조하게 될 경우 이를 통합하기 위해선 막대한 시간과 인력이 들어갈 뿐만 아니라 유지 보수 및 관리에도 많은 어려움이 있을 것이다.

 

장비와 호스트의 통신

이를 방지하고 효율을 향상 시키기 위해 나온 것이 SEMI Standard. 즉, SEMI 표준이다.

생산 설비, 물류 설비 등 다양한 설비들의 표준이 존재하며 현재에는 반도체 뿐만 아니라 디스플레이 등의 업계에서도 SEMI 표준을 적용하고 있다.

설비 제조 업체는 표준을 만족시키지 못하면 판매가 불가능할 정도로 표준이 반강제적으로 잘 지켜지고 있기 때문에 반도체 공정의 표준화가 잘 이루어져 있다.

 

https://store-us.semi.org/collections/standards/stdvol-equipment-automation-software+lang-english

SEMIViews

 

1,000여 개가 넘는 표준 중에서도 Equipment Automation Software 분야의 E4, E5, E37은 설비 간의 데이터 통신을 담당하는 표준 규약이다.

 

SEMI E4 - SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer (SECS-I)

SEMI E5 - SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Transfer (SECS-II)

SEMI E37 - High-Speed SECS Message Services Generic Services (HSMS) 

 

SECS란?

SECS(SEMI Equipment Communications Standard 이하 SECS)라고 칭하는 설비 간의 데이터 통신 Protocol은

메세지 전송 표준인 SECS-I, HSMS. 메세지 내용 표준인 SECS-II 로 구성되어 있다.

SECS의 세부적인 내용은 다음 포스팅에서 진행할 예정이며 간략하게 요약 설명만 진행하겠다.

 

먼저 메세지 전송 표준이다.

SECS-I(E4)와 HSMS(E37)의 가장 큰 차이점은 시리얼 통신이냐 이더넷 통신이냐이다. 

SECS-I은 RS-232 케이블을 이용한 직렬통신. 즉 시리얼 통신이다. 

SECS-I이 1980년도 쯤에 정의가 됐기 때문에 그 당시 가장 많이 사용하던 통신 방식인 시리얼 통신을 적용한 것이다.

 

HSMS는 1995년 최초로 정의 되고 2008년도에 처음 개정을 했다.

해당 연도를 보면 알 수 있듯이 이더넷 통신. 즉, 우리가 흔히 랜선이라고 부르는 이더넷 케이블을 이용한 이더넷 통신이 점차 늘어남에 따라 SEMI에서도 이에 대응하여 이더넷 통신을 이용한 빠르고 많은 양의 데이터 전송을 위한 데이터 전송 표준을 제정하게 된다.

 

현재에 이르러 거의 대부분의 반도체 장비 통신에는 이더넷 통신인 HSMS를 사용하고 있다. 필자 역시 MES 솔루션 회사에 다니면서 한 번도 SECS-I을 적용한 곳은 보지 못 했다.

 

SECS Protocol

메세지 내용 표준은 SECS-II(E5) 한 개 밖에 없다.

이 말인 즉슨 메세지 내용 표준인 SECS-II에 의해 생성한 메세지(body)는 어떤 메세지 전송 표준(header)을 적용하냐에 따라 달라지게 된다는 뜻이다.

 

HSMS란?

[SEMI] HSMS란?

 

 

SECS-II란? 메세지 내용 표준 적용 방법

[SEMI] SECS-II란? 메세지 내용 표준 적용 방법